真空烧结炉主要应用于电力半导体器件,烧结,焊接等工艺
设备参数:
管路数:1-3管
★口径:φ100mm -φ350mm (用户自定义
★工作方式:共用一套加热体,a、b、c管交替工作
★工作温度:300-1000℃
★恒温区400mm-1000mm±3℃
★冷态真空度:5χ10-4pa
★真空系统:机械泵+k300扩散泵★阀门:φ300气动挡板阀为主阀和进口电磁阀加热
★功率:47kw
★真空计:复合数字表
★充气种类:n2、ar、h2
★控制系统全自动、手动
青岛育豪微电子设备有限公司
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中国 青岛