广州市尤特新材料有限公司是一家扎根于电子信息材料行业的高新技术企业,以生产信息存储记录材料为起点,顺延产业技术发展的方向,深耕产业技术应用的潜力,经过11年的开拓已发展成为拥有电子浆料(贵金属镀膜技术)、金属薄膜靶材(真空镀膜靶材技术)信息存储记录材料(激光读写光盘生产技术)、工程塑料(pc再生造粒及改性技术)、触控显示材料(手机、平板触摸屏材料)、石墨烯材料(导电、散热)、uv化工材料(uv油墨、uv电子胶粘剂)这七大核心技术为中心的产业集团。
(1) density,这个是最主要的,好的靶密度至少达到97%以上,所以大家买回靶来以后可以根据重量体积来计算一下 你们的靶的密度和理论块体的密度的比例有多少,低于90%的退货。
(2) 开裂问题,套磁靶很容易开裂,所以大家一定要求用cu的背板,这个是必须的,另外靶材不宜太厚,小于5mm最1好了。金属靶是不大会开裂的,否则它的密度肯定很差。
(3) 电导率,对于azo, ito靶材来说,买回来了可以测测他们的电导率是多少,不同公司用的粉不同,电导率有很大差别,越小你 做出来的膜导电性肯定越好了。否则你死活都做不出你需要的电阻率的。
好的azo靶材的azo粉很重要,最1好的是用纯的azo粉,但是价格很贵,而且工艺比较复杂,这样的靶材做出来的膜电阻率最1好。
广州市尤特新材料有限公司是一家扎根于电子信息材料行业的高新技术企业,以生产信息存储记录材料为起点,顺延产业技术发展的方向,深耕产业技术应用的潜力,经过11年的开拓已发展成为拥有电子浆料(贵金属镀膜技术)、金属薄膜靶材(真空镀膜靶材技术)信息存储记录材料(激光读写光盘生产技术)、工程塑料(pc再生造粒及改性技术)、触控显示材料(手机、平板触摸屏材料)、石墨烯材料(导电、散热)、uv化工材料(uv油墨、uv电子胶粘剂)这七大核心技术为中心的产业集团。
磁控溅射镀膜靶材:
金属溅射镀膜靶材,合金溅射镀膜靶材,陶瓷溅射镀膜靶材,硼化物陶瓷溅射靶材,碳化物陶瓷溅射靶材,氟化物陶瓷溅射靶材 ,氮化物陶瓷溅射靶材 ,氧化物陶瓷靶材,硒化物陶瓷溅射靶材 ,硅化物陶瓷溅射靶材 ,硫化物陶瓷溅射靶材 ,碲化物陶瓷溅射靶材 ,其他陶瓷靶材,掺铬一氧化硅陶瓷靶材(cr-sio),磷化铟靶材(inp),砷1化铅靶材(pbas),砷1化铟靶材(inas)。
高纯高密度溅射靶材有:
溅射靶材(纯度:99.9%-99.999%)
1. 金属靶材:
镍靶、ni、钛靶、ti、锌靶、zn、铬靶、cr、镁靶、mg、铌靶、nb、锡靶、sn、铝靶、al、铟靶、in、铁靶、fe、锆铝靶、zral、钛铝靶、tial、锆靶、zr、铝硅靶、alsi、硅靶、si、铜靶cu、钽靶t、a、锗靶、ge、银靶、ag、钴靶、co、金靶、au、钆靶、gd、镧靶、la、钇靶、y、铈靶、ce、钨靶、w、不锈钢靶、镍铬靶、nicr、铪靶、hf、钼靶、mo、铁镍靶、feni、钨靶、w等金属溅射靶材。
2. 陶瓷靶材
ito靶、azo靶、氧化镁靶、氧化铁靶、氮化硅靶、碳化硅靶、氮化钛靶、氧化铬靶、氧化锌靶、硫化锌靶、二氧化硅靶、一氧化硅靶、氧化铈靶、二氧化锆靶、五氧化二铌靶、二氧化钛靶、二氧化锆靶,、二氧化铪靶,二硼化钛靶,二硼化锆靶,三氧化钨靶,三氧化二铝靶五氧化二钽,五氧化二铌靶、氟化镁靶、氟化钇靶、硒化锌靶、氮化铝靶,氮化硅靶,氮化硼靶,氮化钛靶,碳化硅靶,铌酸锂靶、钛酸镨靶、钛酸钡靶、钛酸镧靶、氧化镍靶等陶瓷溅射靶材。
3.合金靶材
镍铬合金靶、镍钒合金靶、铝硅合金靶、镍铜合金靶、钛铝合金、镍钒合金靶、硼铁合金靶、硅铁合金靶等高纯度合金溅射靶材。
广州市尤特新材料有限公司是一家扎根于电子信息材料行业的高新技术企业,以生产信息存储记录材料为起点,顺延产业技术发展的方向,深耕产业技术应用的潜力,经过11年的开拓已发展成为拥有电子浆料(贵金属镀膜技术)、金属薄膜靶材(真空镀膜靶材技术)信息存储记录材料(激光读写光盘生产技术)、工程塑料(pc再生造粒及改性技术)、触控显示材料(手机、平板触摸屏材料)、石墨烯材料(导电、散热)、uv化工材料(uv油墨、uv电子胶粘剂)这七大核心技术为中心的产业集团。
对于ito靶材,我国一直处于技术弱势地位,国际高端ito靶材由jx日矿日石金属、日本三井矿业、日本东曹、韩国三星、德国及美国的少数几家公司所垄断。其中又以日本日矿和三井为最,其两家几乎占据了高端tft-lcd市场用ito靶材的全部份额和大部分的触摸屏面板市场,每家年供应量据称达到600吨以上。
近期,在广西柳州举办的业界高端镀膜工艺研讨会上,与会专家一致认为,国内各厂商在靶材的研发过程中出现各种问题是必然的,也不可否认国内在这方面的技术远远落后于日本和韩国。目前,国内ito溅射靶材主要应用于中低端产品商,而高端ito靶材产品则从日韩进口。本土ito靶材厂商约占国内市场30%的份额,国内大部分的ito靶材市场则由日韩瓜分。
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