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准分子激光（英文：excimer laser）是一种紫外气态激光，处于激发态的稀有气体和另一种气体（稀有气体或卤素）结合的混合气体形成的分子，向其基态跃迁时发射所产生的激光，称为准分子激光。准分子激光属于低能量激光，无热效应，是方向性强、波长纯度高、输出功率大的脉冲激光，光子能量波长范围为157－353纳米，寿命为几十纳秒，属于紫外光。zui常见的波长有157nm、193 nm、248 nm、308 nm、351-353 nm。
标准气体是气体标准物质，由于标准气体具有一段时间的有效期，因此，标准气体的稳定性是配制和使用过程中的关键问题。众所周知，装入高压容器(钢瓶) 中的标准气体的一个重要条件是在保存和使用过程中其量值不应发生变化。实际上， 标准气体中成分气体或不纯物与容器内壁接触时往往引起吸附、解吸、化学反应等现象， 而使其量值随时间发生变化，在含量越低， 组成成分越复杂时， 这种变化就越大。
标准气体为气体工业名词。标准物质是浓度均匀的，良好稳定和量值准确的测定标准，它们具有复现，保存和传递量值的基本作用，在物理，化学，生物与工程测量领域中用于校准测量仪器和测量过程，评价测量方法的准确度和检测实验室的检测能力，确定材料或产品的特性量值，进行量值仲裁等。标准气体分二元、三元和多元标准气体。

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